非鉛強誘電体薄膜を用いた圧電MEMS振動発電
非鉛強誘電体薄膜を用いた圧電MEMS振動発電
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使用无铅铁电薄膜的压电MEMS振动发电
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤村 紀文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉村 武;藤村 紀文
