MEMSデバイスにおける加工・実装・評価技術全集,"MEMS材料の引張特性評価技術"(共同執筆)
MEMSデバイスにおける加工・実装・評価技術全集,"MEMS材料の引張特性評価技術"(共同執筆)
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MEMS器件加工、安装、评价技术全集《MEMS材料的拉伸特性评价技术》（合着）
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
生津資大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Namazu;Shozo Inoue;Akinobu Hashizume;Keiji Koterazawa;生津資大
