T.Ohmi: "Large-Electromigration-Resistance Copper Interconnect Technology for Subhalf-micron ULSI'S" Technical Digest,International Electron Devices Meeting 1991,Washington D.C.285-288 (1991)
T.Ohmi: "Large-Electromigration-Resistance Copper Interconnect Technology for Subhalf-micron ULSI'S" Technical Digest,International Electron Devices Meeting 1991,Washington D.C.285-288 (1991)
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T.Ohmi：“亚半微米 ULSI 的大电迁移铜互连技术”技术文摘，1991 年国际电子器件会议，华盛顿特区 285-288 (1991)
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