13nm帯EUV光用金属中空ファイバ-金属の選択と試作-
13nm帯EUV光用金属中空ファイバ-金属の選択と試作-
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用于 13nm 波段 EUV 光的金属中空纤维 - 金属选择和原型制作 -
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田 貴則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Blanco;A. C.;吉田 貴則
