K.Takamasu: "Three Dimensional Position Sensor Using Optical Collimator for Nanometer Resolution" Proc.7th int.Prog.Precision Eng.62-65 (1993)
K.Takamasu: "Three Dimensional Position Sensor Using Optical Collimator for Nanometer Resolution" Proc.7th int.Prog.Precision Eng.62-65 (1993)
复制标题
K.Takamasu：“使用光学准直器实现纳米分辨率的三维位置传感器”Proc.7th int.Prog.Precision Eng.62-65 (1993)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
