Masanori Shinohara: "Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy"電気学会研究会資料. PST-03-87〜101. 33(PST-03-93)-36 (2003)
Masanori Shinohara: "Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy"電気学会研究会資料. PST-03-87〜101. 33(PST-03-93)-36 (2003)
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Masanori Shinohara：“通过红外光谱研究硅表面的等离子体氧化过程” PST-03-87～101 33(PST-03-93)-36 (2003)。
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