金属援用エッチングによるシリコンの多孔質化-触媒ナノ粒子の2つの役割-
金属援用エッチングによるシリコンの多孔質化-触媒ナノ粒子の2つの役割-
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通过金属辅助蚀刻使硅多孔 - 催化剂纳米粒子的双重作用 -
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田均
中科院分区：
文献类型：
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作者：
八重真治;福室直樹;松田均
