数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製-中性子集光用ミラーの作製 第二報-
数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製-中性子集光用ミラーの作製 第二報-
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采用数控局部湿法刻蚀法制造高精度光学元件 - 中子聚焦镜的制造，第二次报告 -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
曽山和彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
(阪大)高井宏之;山村和也;(JAEA)丸山龍治;山崎大;曽山和彦
