Minimal multi-target helicon sputtering tool
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最小多靶螺旋溅射工具
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Shiro Hara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunori Takahashi;Taichi Saito;Akira Ando;and Shiro Hara
