触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化
触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化
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催化反支撑抛光法单晶金刚石基体表面超平坦化
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保田章亀,峠 睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihisa Kubota;Shuya Motoyama;SakaeFukuyama;Mutsumi Touge;本山修也,久保田章亀,峠 睦;永江 伸,久保田章亀,本山修也,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,本山修也,峠 睦;久保田章亀,峠 睦
