MEMS構造要素における構造‐流体‐静電界連成の階層的分解による有限要素解析
MEMS構造要素における構造‐流体‐静電界連成の階層的分解による有限要素解析
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使用 MEMS 结构元件中的结构-流体-静电场耦合的分层分解进行有限元分析
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石原大輔,堀江知義,二保知也,馬場昭好
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasushi Ido;Koichi Hayashi;Satoshi Ueno and Takashi Todaka;石原大輔，堀江知義，二保知也;井門康司,林浩一,飛田隼佑;石原大輔,堀江知義;井門康司,林浩一,東太寛,山田将士;石原大輔,堀江知義,二保知也,馬場昭好
