TiNバッファ層の選択的酸溶解を用いたGaN層の剥離技術の開発
TiNバッファ層の選択的酸溶解を用いたGaN層の剥離技術の開発
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开发利用TiN缓冲层选择性酸溶解的GaN层剥离技术
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村上
中科院分区：
文献类型：
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作者：
池袋哲史;武田英久;本橋雄介;伊藤和博;池本由平;平田宏治;村上
