硅衬底键合砷化镓薄膜的力学仿真分析
硅衬底键合砷化镓薄膜的力学仿真分析
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
丁宇凯
中科院分区：
文献类型：
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作者：
郭浩;唐军;刘俊;丁宇凯
