反応性スパッタ法によるTiNx膜の低温作製
反応性スパッタ法によるTiNx膜の低温作製
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反应溅射法低温制备TiNx薄膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
武山 真弓
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤 勝; 武山 真弓
