熱酸化によるSiC中の深い準位低減メカニズムの解析および準位密度分布の予測
熱酸化によるSiC中の深い準位低減メカニズムの解析および準位密度分布の予測
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SiC热氧化深能级还原机理分析及能级密度分布预测
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木本恒暢
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川原洸太朗;須田淳;木本恒暢
