N.Tanaka: "Measurements of atomic carbon density in processing plasmas by vacuum ultraviolet laser absorption spectroscopy"Journal of Applied Physics. 92・10. 5684-5690 (2002)
N.Tanaka: "Measurements of atomic carbon density in processing plasmas by vacuum ultraviolet laser absorption spectroscopy"Journal of Applied Physics. 92・10. 5684-5690 (2002)
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N. Tanaka：“通过真空紫外激光吸收光谱法测量等离子体中的原子碳密度”应用物理学杂志 92・10（2002 年）。
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