Grawth and diffusion barrier properties of CVD Mn oxide in a TSV structure
Grawth and diffusion barrier properties of CVD Mn oxide in a TSV structure
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TSV 结构中 CVD 氧化锰的生长和扩散阻挡特性
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Mitsumasa Koyanagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hao Wang;Yuji Sutou;Ando Daisuke;Junichi Koike;Kangwook Lee;Jicheil Bae;Mariappan Murugesan;Takafumi Fukushima;Tetsu Tanaka;and Mitsumasa Koyanagi
