S.Kiyohara,K.Ayano,K.Mori: "Micropattering of Chemical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography"Jpn.J.Appl.Phys.. (印刷中). (2000)
S.Kiyohara,K.Ayano,K.Mori: "Micropattering of Chemical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography"Jpn.J.Appl.Phys.. (印刷中). (2000)
复制标题
S.Kiyohara、K.Ayano、K.Mori:“电子束光刻中化学气相沉积金刚石薄膜的微图案化”Jpn.J.Appl.Phys.(出版中)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: