周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用
周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用
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变频单晶硅加速度传感器在倾斜角度传感器中的应用
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅原澄夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sumio Sugawara;Masaki Yamakawa;Subaru Kudo;金子敏明;Yu Nureki and Sunao Murashige;菅原澄夫
