Dependence of Depth Resolution on Primary Energy of Ions in Sputter Depth Profiling

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溅射深度分析中深度分辨率对离子一次能量的依赖性

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Abstracts of 5th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
影响因子：
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通讯作者：
Y.Takai
Y.Takai
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Bungo;T.Nagatomi;Y.Takai

文献摘要

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