Challenge of nano optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing
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复制标题
纳米光学技术超越纳米/微米制造衍射极限的挑战
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yizho Guan;Shotaro Kadoya;Masaki Michihata;Satoru Takahashi;S. Takahashi
