エリプソメトリー顕微鏡を用いた薄膜の局所的膜厚の定量化
エリプソメトリー顕微鏡を用いた薄膜の局所的膜厚の定量化
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使用椭圆光度显微镜量化薄膜的局部厚度
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
張 賀東
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山下 千尋;樽角拓実;武田 寛史;福澤 健二;伊藤 伸太郎;張 賀東
