Y.Isono, T.Namazu N.Terayama, T.Tanaka: "Mechanical Characterization of Sub-micrometer Thick DLC Films by AFM Tensile Testing for Surface Modification in MEMS"Proc. of the 15th IEEE International Conference on MEMS 2002,IEEE. 431-434 (2002)
Y.Isono, T.Namazu N.Terayama, T.Tanaka: "Mechanical Characterization of Sub-micrometer Thick DLC Films by AFM Tensile Testing for Surface Modification in MEMS"Proc. of the 15th IEEE International Conference on MEMS 2002,IEEE. 431-434 (2002)
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Y.Isono、T.Namazu N.Terayama、T.Tanaka：“通过 AFM 拉伸测试对 MEMS 中的表面改性进行亚微米厚 DLC 薄膜的机械表征”Proc。
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