M.Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" J.Electrochem.Soc.141. 1556-1561 (1994)
M.Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" J.Electrochem.Soc.141. 1556-1561 (1994)
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M.Niwano 等人：“硅上旋涂 TEOS 的 SiO2 薄膜的紫外线诱导沉积”J.Electrochem.Soc.141。
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