クラスター計算によるSi表面光反射スペクトルの評価

クラスター計算によるSi表面光反射スペクトルの評価
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通过聚类计算评价Si表面光反射光谱

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
J.Vac.Soc.Jpn(「真空」in Japanese) (in press)(5月予定)
影响因子:
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通讯作者:
田中正俊
田中正俊
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
藻川芳晴;滝澤純一;大野真也;首藤健一;田中正俊

文献摘要

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