スプレーMOCVD法による微量置換元素供給法の検討

スプレーMOCVD法による微量置換元素供給法の検討
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使用喷雾MOCVD法检验微量元素供给方法

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
王谷 洋平
王谷 洋平
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Matsudaira;H.;Umezawa;H.;Kawarada;Yohei Otani;Kiyoshi Uchiyama;K.Uchiyama;Yohei Otani;王谷 洋平

文献摘要

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