Preparation of zirconium carbonitride by laser chemical vapor deposition using alkyl-amide precursor as a single source
Preparation of zirconium carbonitride by laser chemical vapor deposition using alkyl-amide precursor as a single source
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烷基酰胺前驱体激光化学气相沉积制备碳氮化锆
DOI：
10.2109/jcersj2.20081
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发表时间：
2020
影响因子：
1.1
通讯作者：
HOTTA Mikinori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
KATSUI Hirokazu;HARADA Katsuyoshi;KONDO Naoki;HOTTA Mikinori
