Growth of Epitaxial β-FeSi_2 Thin Film on Si(001) by Metal Organic chemical Vapor Deposition
Growth of Epitaxial β-FeSi_2 Thin Film on Si(001) by Metal Organic chemical Vapor Deposition
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金属有机化学气相沉积法在Si(001)上外延生长β-FeSi_2薄膜
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kensuke Akiyama;Takeshi Kimura;Hitoshi Funakubo;et al.
