MEMS/NEMS工学全集(診断学, 1. MEMSと診断他)
MEMS/NEMS工学全集(診断学, 1. MEMSと診断他)
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MEMS/NEMS工程全集（Diagnostics、1.MEMS与诊断等）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂本聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
半田宏;和田忠士;坂本聡
