ホロノミック自走機構のnmスケールのXYθ三軸並列サーボ制御法の開発
ホロノミック自走機構のnmスケールのXYθ三軸並列サーボ制御法の開発
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完整自走机构纳米级XYθ三轴并联伺服控制方法开发
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福元健太，庄野郁矢，渕脇大海
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Sugiyama;M.A. Langthjem;K. Katayama;萩原 航;徳井 良多;福元健太，庄野郁矢，渕脇大海
