大気圧プラズマ酸化による太陽電池用Si表面パッシベーション技術の開発―大気圧プラズマ酸化によるSiO2の低温高速形成―
大気圧プラズマ酸化による太陽電池用Si表面パッシベーション技術の開発―大気圧プラズマ酸化によるSiO2の低温高速形成―
复制标题
常压等离子体氧化太阳能电池硅表面钝化技术的开发 - 常压等离子体氧化低温高速形成SiO2 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
金谷優樹（安武潔）
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S.Machida;など;金谷優樹（安武潔）
