Hiroharu Kawasaki: "Characterization of Tantalum Nitride Thin Films Fabricated by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Jpn. J. Appi. Phys.. 40巻. 2391-2394 (2001)
Hiroharu Kawasaki: "Characterization of Tantalum Nitride Thin Films Fabricated by Pulsed Nd : YAG Laser Deposition Method"Jpn. J. Appi. Phys.. 40巻. 2391-2394 (2001)
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Hiroharu Kawasaki：“脉冲 Nd 氮化钽薄膜的表征：YAG 激光沉积法”Jpn. J. Appi.. Vol. 40. 2391-2394 (2001)
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