M.Nakao, et.al.: "Fast Atom Beam Etching with Radical Jet" Vacuum. vol.38, No.9. 771 (1995)
M.Nakao, et.al.: "Fast Atom Beam Etching with Radical Jet" Vacuum. vol.38, No.9. 771 (1995)
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M.Nakao 等人：“使用自由基喷射进行快速原子束蚀刻”真空。
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