スパッタ薄膜による微細接触部の検出について
スパッタ薄膜による微細接触部の検出について
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使用溅射薄膜检测微小接触
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川口尊久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木敏彦;高橋俊一;佐々木勝成;小林裕一;川口尊久
