Residual Stress in GaAs Layer Grown on 4°-Off (100)Si by MBE

Residual Stress in GaAs Layer Grown on 4°-Off (100)Si by MBE
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通过 MBE 在 4°-Off (100)Si 上生长的 GaAs 层中的残余应力

DOI:
10.1557/proc-91-63
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发表时间:
1987
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
K. Ishida
K. Ishida
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Yao;Y. Okada;H. Kawanami;S. Matsui;A. Imagawa;K. Ishida

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