イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価
イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価
复制标题
离子束辅助硬质氮化物薄膜的制备与表征
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田仁,花木聡,中谷正憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三好悠司;並木周;北山研一;内田仁,花木聡,中谷正憲
