単結晶SiC薄膜の製作と微小構造材料への適用
単結晶SiC薄膜の製作と微小構造材料への適用
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单晶SiC薄膜的制备及其在微结构材料中的应用
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高岡勝則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
諸貫信行;角田陽;高岡勝則
