Precise and rapid distance measurements by scatterometry
Precise and rapid distance measurements by scatterometry
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通过散射测量法进行精确、快速的距离测量
DOI：
10.1364/oe.20.003954
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
and Masahide Itoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tesuya Hoshino;Toyohiko Yatagai;and Masahide Itoh
