YF3薄膜を用いた真空紫外センサの粒子径制御及び応答速度評価
YF3薄膜を用いた真空紫外センサの粒子径制御及び応答速度評価
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YF3薄膜真空紫外传感器的粒径控制及响应速度评估
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
加瀬 征彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木 健太郎;山崎 亮;大谷 潤;小野 晋吾;加瀬 征彦
