MEMS Integrated with Silicon Photonic Wire Waveguides
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复制标题
MEMS 与硅光子线波导集成
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Nakano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Higo;H. Toshiyoshi;H. Fujita;Y. Nakano
