表面光反射分光によるSi(001)初期酸化における活性化障壁の考察
表面光反射分光によるSi(001)初期酸化における活性化障壁の考察
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使用表面光反射光谱法考虑 Si(001) 初始氧化中的活化势垒
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野真也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Tanaka;K. Shudo;S. Ohno;T. Iida;S. Ohno;S. Ohno;大野真也;大野真也
