傾斜探針型測長AFMによる線幅計測における実効探針幅の補正
傾斜探針型測長AFMによる線幅計測における実効探針幅の補正
复制标题
使用倾斜探针长度测量 AFM 校正线宽测量中的有效探针宽度
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
権太聡
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
木津良祐;三隅伊知子;平井亜紀子;木下和人;権太聡
