Li Li, Takashi Abe, Masayoshi Esashi: "Fabrication of miniaturized bi-convex quartz crystal microbalance using reactive ion etching and melting photoresist"Sensors and Actuators A. (出版予定). (2004)

Li Li, Takashi Abe, Masayoshi Esashi: "Fabrication of miniaturized bi-convex quartz crystal microbalance using reactive ion etching and melting photoresist"Sensors and Actuators A. (出版予定). (2004)
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Li Li、Takashi Abe、Masayoshi Esashi:“利用反应离子蚀刻和熔化光致抗蚀剂制造小型化双凸石英晶体微天平”传感器和执行器 A.(即将出版)。

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