西ノ坊泰樹、船戸康幸: "RFプラズマスパッタ薄膜生成における電力整合の最適化" 鈴鹿工業高等専門学校紀要. 31. 75-78 (1998)

西ノ坊泰樹、船戸康幸: "RFプラズマスパッタ薄膜生成における電力整合の最適化" 鈴鹿工業高等専門学校紀要. 31. 75-78 (1998)
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Yasuki Nishinobo、Yasuyuki Funato:“射频等离子体溅射薄膜生产中功率匹配的优化”国立技术研究所通报,铃鹿市,31. 75-78 (1998)。

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