ナノパルスプラズマCVDによる金属円管内へのDLC成膜
ナノパルスプラズマCVDによる金属円管内へのDLC成膜
复制标题
通过纳脉冲等离子体 CVD 在金属圆管内形成 DLC 薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
竹波慶大郎,高村瞭太;平田祐樹;赤坂大樹;大竹尚登
