AZO, ZnO短時間熱プラズマアニールにおけるa-Siキャップの効果
AZO, ZnO短時間熱プラズマアニールにおけるa-Siキャップの効果
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非晶硅帽对AZO、ZnO短时热等离子体退火的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白井肇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
太田直希;佐藤俊輔;大場大輔;清水宏一;白井肇
