FIB-induced-damage Recovery Mechanism of Silicon Nanowires by Vacuum Annealing
FIB-induced-damage Recovery Mechanism of Silicon Nanowires by Vacuum Annealing
复制标题
硅纳米线真空退火 FIB 损伤恢复机制
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Takahiro Namazu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tatsuya Fujii;Takahiro Kozeki;Koichi Sudoh;Eri Miura-Fujiwara;Shozo Inoue;and Takahiro Namazu
