Harutaka Mekaru, Yuichi Utsumi, Tadashi Hattori: "Current Status of LIGA Process at "NewSUBARU""JMSE/AMSE International Conference on Materials and Proceeding 2002. 589-592 (2002)
Harutaka Mekaru, Yuichi Utsumi, Tadashi Hattori: "Current Status of LIGA Process at "NewSUBARU""JMSE/AMSE International Conference on Materials and Proceeding 2002. 589-592 (2002)
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Harutaka Mekaru、Yuichi Utsumi、Tadashi Hattori：““NewSUBARU”LIGA 流程的现状”JMSE/AMSE 国际材料会议和会议记录 2002. 589-592 (2002)
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