はしご型 HSQ を用いた室温硬化ナノインプリトソグラフィ によるDLCマイクロギヤの開発
はしご型 HSQ を用いた室温硬化ナノインプリトソグラフィ によるDLCマイクロギヤの開発
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采用梯型 HSQ 的室温固化纳米压印光刻技术开发 DLC 微型齿轮
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小俣有紀子，倉島優一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
婦木 陽介 ;清原 修二 ;石川 一平，滝川浩史，渡邊 雅彦 ;杉山 嘉也 ;小俣有紀子，倉島優一
