光リソグラフィーを用いたフレキシブル基板への希土類含有ナノ粒子のパターニング
光リソグラフィーを用いたフレキシブル基板への希土類含有ナノ粒子のパターニング
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使用光学光刻在柔性基板上形成含稀土纳米粒子的图案
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松本睦良
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邉智;田口博久;兵藤宏;曽我公平;高梨良文;松本睦良
